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Filmetrics® Profilm3D® 光学轮廓仪

Profilm3D® 光学轮廓仪

Filmetrics Profilm3D和Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的3D自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的Profilm3D引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

 

在Profilm3D测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

 

我们的Profilm® 软件包采用先进的基于云的ProfilmOnline® 网络服务、Android和 OS的移动应用程序以及高级Profilm桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

特征

垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征

TotalFocus3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

该自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

具有长行程范围的自动化X-Y样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描

使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的ProfilmOnline和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。

 

 

工业

高校、实验室和研究所

硅和化合物半导体

精密光学和机械

LED：发光二极管

MEMS:微机电系统

数据存储

汽车

医疗设备

更多内容：请联系我们并告诉我们您的需求

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

应用

台阶高度：从纳米级到毫米级的3D台阶高度

纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状

纹理表征

边缘倒角：3D边缘轮廓测量

缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征

对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

高粗糙度，低反射率，划痕表征

 

 

 

 

 

设备选件 测试数据 资料下载

■Profilm3D 系列

Filmetrics Profilm3D 白光干涉仪具有电动 X-Y 向和 Z 向样品台，行程为 100 毫米，同时具有手动倾斜样品台。该系统支持相移和垂直扫描干涉测量法，能对3D表面形貌进行高分辨率测量。

Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪不仅具有与 Profilm3D 相同的功能，还提供了一个更大的电动 X-Y 样品台，支持 200 毫米 × 200 毫米的行程。

 

■Profilm 软件包

Filmetrics Profilm 软件包全面、易懂、快速且便于使用。3D数据操作和分析功能（如调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术）均包含于基本配置中。Profilm 支持 ISO 粗糙度的计算方法，以及 ASME 等本地标准。只需单击一下，即可将 Profilm 中的数据上传至 ProfilmOnline 平台，从而轻松、安全地存储数据并进行共享。

 

■ProfilmOnline 网络应用程序

Filmetrics ProfilmOnline 作为 Profilm 软件包的一部分，它是一种基于云的3D数据可视化和分析平台。在ProfilmOnline中您可共享、存储、查看和分析3D数据，无论您使用的是计算机还是移动设备。安卓和 iOS 的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。

■物镜

四位转台可安装放大倍率从 5 倍到 100 倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌应用。5倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10 倍、20 倍、50 倍和 100 倍物镜使用的是Mirau干涉物镜。

■样品台

X-Y 和 Z 轴的电动样品台是 Profilm3D 系统的标准配置。Profilm3D X-Y 样品台的行程为 100 毫米 x 100 毫米，Profilm3D-200 的行程为 200 毫米 x 200 毫米。Z 向样品台的范围为 100 毫米。可程序化控制所有运动轴的行程。手动倾斜样品台是标准配置，运动角度为±5°。

Profilm3D 系列光学轮廓仪还有一个手动的 R-theta 晶圆样品台，适配直径为 50 毫米至 200 毫米的晶圆。此外，Profilm3D-200 支持用于容纳200 毫米晶圆的适配器。

■防震台

Filmetrics Profilm3D 系列提供 Accurion Nano30 系列桌面主动防震系统，该系统在所有六个自由度中均使用电动驱动主动隔震。

 

■台阶高度标准片

Filmetrics Profilm3D 系列包含有定制的铬-硅10μm台阶高度标准片，标准片上是有铬涂层的蚀刻台阶。0.1 µm，2 µm和4 µm等多种台阶高度标准片也可以选购。

■台阶高度

Filmetrics Profilm3D 系列轮廓仪对纳米级到毫米级的3D台阶高度进行非接触式测量。垂直扫描干涉测量法能够以纳米级分辨率测量较大的台阶高度。利用相移干涉测量法可以快速测量出亚纳米级特征。Z拼接干涉测量法将多次高分辨率扫描合并到一次测量中，能够快速测量较大的台阶。这一系列的技术使用户能够量化由半导体工艺（如蚀刻、溅射、沉积、旋涂等）去除或沉积的材料量。

 

■纹理：粗糙度和波纹度

Filmetrics Profilm3D 系列光学轮廓仪能够对3D纹理进行非接触式测量，量化样品的粗糙度与波纹度。相移模式对于测量非常光滑的表面来说是一个不二之选。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根粗糙度等参数。

 

■形状：翘曲度和外形

Filmetrics Profilm3D 系列轮廓仪可以测量表面的3D形状或翘曲度。此功能可用于测量透镜的曲率半径或医疗植入物（如髋关节或支架）的外形。

 

■TotalFocus®

Filmetrics Profilm3D 系列光学轮廓仪具有TotalFocus功能，可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。

 

 

 

KLA_AppNote_Stylus_SIMS_Crater.pdf

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