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Alpha-Step® D-600 探针式轮廓仪

Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪

Alpha-Step® D-600

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600包含一个带有200毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。

 

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

 

探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

台阶高度：纳米级到1200微米

恒力控制：0.03至15mg

视频：5MP高分辨率彩色相机

梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

软件：用户友好的软件界面

小巧的尺寸：系统占用体积小

 

 

工业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS:微机电系统

汽车

医疗设备

更多内容：请联系我们并告诉我们您的需求

 

 

应用

台阶高度：2D和3D台阶高度

纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲形状

应力：2D薄膜应力

 

 

 

 

 

 

 

设备选件 测试数据 资料下载

■探针选项

Alphastep-d-600提供多种探针用于测量台阶高度、台阶高宽比、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从100纳米到50微米不等，这决定了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损并增加其使用寿命。

 

■样品载台

Alphastep-d-600拥有各种可用于支持应用需求的载台。标准配置是一个带有定位销的通用真空载台，适用于直径长达 200 毫米的样品。还提供通用真空载台，并包括用于 50 毫米至 200 毫米样品精确定位的定位销。两个选项都支持通过 3 点定位器进行应力测量，从而将样品保持在中间位置，以进行精确的翘曲度测量。

 

■防震台

Alphastep-d-600提供桌面式防震台和独立防震台选项。GraniteIsolator™系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式系统来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震的独立钢架台。

 

■台阶高度标准片

Alphastep-d-600使用VLSI提供的NIST可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片的特征图案是在石英台上制造了一个氧化物台阶，或是覆盖了铬涂层的蚀刻石英台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度。

 

 

■Apex 分析软件

Apex 分析软件具备调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术，增强了 D-600 的标准数据分析能力。Apex 支持 ISO 粗糙度计算方法以及当地标准，例如 ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex 支持 11 种语言。

 

■离线分析软件

Alpha-Step D-600 离线软件具有与该机台相同的数据分析功能。这使用户能够在不占用机时的情况下分析数据。

 

■台阶高度

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量几纳米到 1200 微米高的2D和3D台阶。这能够对蚀刻、溅射、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺等沉积或去除的材料厚度进行量化。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶。

 

■纹理：粗糙度和波纹度

Alpha-Step D-600 测量2D和3D纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。

 

■形状：翘曲形状

Alpha-Step D-600 可以测量样品表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲度的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-600 还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。

 

■应力：2D薄膜应力

Alpha-Step D-600 能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，然后运用Stoney公式计算得到的。

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