AFM/SEM二合一显微镜，一键触达感兴趣区域
在材料学和微纳器件等领域，微观结构对宏观性能起到关键作用。然而，在研究过程中，要对关键性微观区域的原位性能研究却困难重重。最常遇到的情况是：在SEM上找到了感兴趣的微区域，当把样品转移到AFM等设备上时，又需要很长的时间再找回相应的微区域进行表征。对于一些纳米级的微区域，后续表征时定位起来更加困难，甚至会错过相关微区域的表征。对于具有一定高度的微结构，即3D微结构，主流的表征手段仅仅能通过SEM对其形貌进行观察，而相关的三维形貌表征一般很难进行，为相关研究带来了不便。
