Zeta™光学轮廓仪缺陷标记 失效分析依赖于在样品上识别出一个关注区域（ROI），以便在扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）或原子力显微镜（...
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Zeta™光学轮廓仪缺陷标记 失效分析依赖于在样品上识别出一个关注区域（ROI），以便在扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）或原子力显微镜（...
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9月10日–9月12日 KLA Instruments™将亮相 第二十六届中国国际光电博览会 China International Optoelect...
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2024一开年，科学仪器行业便迎面而来一大新政策。3月13日国务院印发《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》。 其中明确了”推动...
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KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果： 1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。 2.Zeta...
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薄膜方块电阻和厚度测量—KLA45年电阻测量技术创新的桌面型解决方案 在半导体芯片等器件工艺中，后道制程中的金属连接是经过金属薄膜沉积，图...
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KLA探针式轮廓仪的过去，现在，与未来。 KLA Instruments™探针式轮廓仪（也称台阶仪）提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙...
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