Profilm3D 系列

Filmetrics Profilm3D白光干涉仪具有电动X-Y 向和Z向样品台，行程为100毫米，同时具有手动倾斜样品台。该系统支持相移和垂直扫描干涉测量法，能对3D表面形貌进行高分辨率测量。

Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪不仅具有与 Profilm3D相同的功能，还提供了一个更大的电动X-Y样品台，支持200毫米×200毫米的行程。

Profilm软件包

Filmetrics Profilm软件包全面、易懂、快速且便于使用。3D数据操作和分析功能（如调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术）均包含于基本配置中。Profilm支持ISO 粗糙度的计算方法，以及ASME等本地标准。只需单击一下，即可将Profilm中的数据上传至ProfilmOnline平台，从而轻松、安全地存储数据并进行共享。

ProfilmOnline网络应用程序

Filmetrics ProfilmOnline作为Profilm软件包的一部分，它是一种基于云的3D数据可视化和分析平台。在ProfilmOnline中您可共享、存储、查看和分析3D数据，无论您使用的是计算机还是移动设备。安卓和iOS的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。

物镜

四位转台可安装放大倍率从5倍到100倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌应用。5倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10倍、20倍、50倍和 100倍物镜使用的是Mirau干涉物镜。

样品台

X-Y和Z轴的电动样品台是Profilm3D系统的标准配置。Profilm3D X-Y样品台的行程为100 毫米x100毫米，Profilm3D-200的行程为200 毫米x 200毫米。Z向样品台的范围为100毫米。可程序化控制所有运动轴的行程。手动倾斜样品台是标准配置，运动角度为±5°。

Profilm3D系列光学轮廓仪还有一个手动的R-theta晶圆样品台，适配直径为 50毫米至200毫米的晶圆。此外，Profilm3D-200支持用于容纳200毫米晶圆的适配器。

防震台

Filmetrics Profilm3D系列提供Accurion Nano30系列桌面主动防震系统，该系统在所有六个自由度中均使用电动驱动主动隔震。

台阶高度标准片

Filmetrics Profilm3D系列包含有定制的铬-硅10μm台阶高度标准片，标准片上是有铬涂层的蚀刻台阶。0.1µm，2µm和4µm等多种台阶高度标准片也可以选购。

台阶高度

Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪对纳米级到毫米级的3D台阶高度进行非接触式测量。垂直扫描干涉测量法能够以纳米级分辨率测量较大的台阶高度。利用相移干涉测量法可以快速测量出亚纳米级特征。Z拼接干涉测量法将多次高分辨率扫描合并到一次测量中，能够快速测量较大的台阶。这一系列的技术使用户能够量化由半导体工艺（如蚀刻、溅射、沉积、旋涂等）去除或沉积的材料量。

纹理：粗糙度和波纹度

Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪能够3D纹理进行非接触式测量，量化样品的粗糙度与波纹度。相移模式对于测量非常光滑的表面来说是一个不二之选。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根粗糙度等参数。

形状：翘曲度和外形

Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪可以测量表面的3D形状或翘曲度。此功能可用于测量透镜的曲率半径或医疗植入物（如髋关节或支架）的外形。

TotalFocus^®

Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪具有TotalFocus功能，可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。