Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪

Alpha-Step® D-600

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600包含一个带有200毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

功能
台阶高度：纳米级到 1200 微米微力：0.03 至 15 mg video：5MP高分辨率彩色相机梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差小巧的尺寸：系统占用体积小软件：用户友好的软件界面

应用
台阶高度：2D和3D台阶高度纹理：2D和3D粗糙度和波纹度形状：2D和3D翘曲度和形状应力：2D薄膜应力

行业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS：微机电系统

汽车

医疗设备

	探针选项 Alpha-Step D-600提供多种探针用于测量台阶高度、高宽深比台阶、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从100纳米到50微米不等，这影响了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损和增加其使用寿命。
	样品载台 Alpha-Step D-600可提供各种载台，用于支持不同应用需求。标准载台是一个镀镍的铝制真空载台，适用于直径长达 200毫米的样品。还提供通用真空载台，并包括用于 50毫米至 200毫米样品精确定位的定位销。两个选项都支持通过3点定位器进行应力测量，从而将样品保持在中间位置，以进行精确的翘曲度测量。
	防震台 Alpha-Step D-600提供桌面式和独立防震台两种选项。GraniteIsolator^™ 系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式防震台，来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震独立钢架台。
	台阶高度标准片 Alpha-Step D-600采用 VLSI 提供的 NIST 可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片在石英片上制造了一个氧化物台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度标准片。
	Apex分析软件 Apex分析软件具备调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术，增强了 D-600 的标准数据分析能力。Apex支持 ISO粗糙度计算方法以及当地标准，例如ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex支持11种语言。
	离线分析软件 Alpha-Step D-600离线软件具有与该机台相同的数据分析功能。这使用户能够在不占用机时的情况下分析数据。

台阶高度 Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D和3D台阶。这能够对蚀刻、溅射、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺等沉积或去除的材料厚度进行量化。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶。
纹理：粗糙度和波纹度 Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。
形状：翘曲和形貌 Alpha-Step D-600可以测量样品表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲度的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-600 还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。
应力：2D薄膜应力 Alpha-Step D-600能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，然后运用Stoney公式计算得到的。