Alpha-Step® D-500探针式轮廓仪

Alpha-Step® D-500

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

功能
台阶高度：纳米级到 1200 微米微力：0.03 至 15 mg video：5MP高分辨率彩色相机梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差小巧的尺寸：系统占用体积小软件：用户友好的软件界面

应用
台阶高度：2D台阶高度纹理：2D粗糙度和波纹度形状：2D翘曲度和形状应力：2D薄膜应力

行业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS：微机电系统

汽车

医疗设备

	探针选项 Alpha-Step D-500提供多种探针用于测量台阶高度、高宽深比台阶、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从100纳米到50微米不等，这影响了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损和增加其使用寿命。
	样品载台 Alpha-Step D-500可提供各种可用于支持应用需求的载台。标准载台是一个镀镍铝载台，适用于最大直径长达140毫米的样品。扁平黑色载台可用于透明样品，以最大限度地减少载台表面的反射。提供通用真空载台，包括用于50毫米至125毫米样品的精确定位销。标准载台和通用载台都支持通过3点定位器进行应力测量，将样品保持在中间位置从而进行精确的翘曲度测量。
	防震台 Alpha-Step D-500提供桌面式和独立防震台两种选项。GraniteIsolator^™ 系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式防震台，来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震独立钢架台。
	台阶高度标准片 Alpha-Step D-600采用 VLSI 提供的 NIST 可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片在石英片上制造了一个氧化物台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度标准片。
	Apex分析软件 Apex分析软件具备调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术，增强了 D-600 的标准数据分析能力。Apex支持 ISO粗糙度计算方法以及当地标准，例如ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex支持11种语言。
	离线分析软件 Alpha-Step D-600离线软件具有与该机台相同的数据分析功能。这使用户能够在不占用机时的情况下分析数据。

台阶高度 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。这能够对蚀刻、溅射、二次离子质谱、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺中沉积或去除的材料进行量化测量。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶。
纹理：粗糙度和波纹度 Alpha-Step D-500可测量2D纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。
形状：翘曲和形貌 Alpha-Step D-500可以测量表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-500还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。
应力：2D薄膜应力 Alpha-Step D-500能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，然后运用Stoney公式计算得到的。