F50薄膜厚度测量仪

F50系列

自动化薄膜测绘

Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

 

不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如, F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的内容:

集成光谱仪/光源装置

光纤电缆

4″, 6″ and 200mm 参考晶圆

TS-SiO2-4-7200 厚度标准

BK7 参考材料

整平滤波器 (用于高反射基板)

真空泵

备用灯

型号规格

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