四探针方块电阻测试仪
R50/R54系列
Filmetrics R系列结合了KLA公司45年来在方块电阻测量领域以及Filmetrics团队20年来在桌面式仪器和用户界面方面的技术。
对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。我们的技术能够满足各种测量需求，包括但不限于以下:
- 金属薄膜及背面工艺层厚度测量
- 衬底电阻率
- 方块电阻
- 薄膜厚度或电阻率
- 薄层和体材料的导电率
经过优化的Filmetrics R50能够支持各种样品的测量需求，可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘。
KLA Instruments™ R54系列在安装不透光外壳的情况下，能够提供R50所具有的测量性能，并新增了X-Y-θ全自动载台，用于半导体和化合物半导体的200mm或300mm晶圆检测。
