■连续刚度测量（CSM）
连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA™ 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm™选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。
■InForce 50作动器
InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计，确保作动器简谐运动仅有单一方向自由度，从而使加载力和位移仅发生在该方向。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce和Gemini全系列作动器均使用统一规格的压头。
■Gemini双轴作动器
Gemini双轴技术，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。横向力和摩擦学测量可以通过双轴作动器实现，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。
■300°C 样品加热
300°C 样品加热选项使用准密闭腔室装载样品，均匀加热的同时进行力学测试，InForce 1000或InForce 50作动器均可使用。该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。
■NanoBlitz 3D
NanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (>3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。
■NanoBlitz 4D
NanoBlitz 4D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量 (>3GPa)的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。
■AccuFilm™ 薄膜方法包
AccuFilm™薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量(CSM)获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm™能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。
■ProbeDMA™聚合物方法包
聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。
■Biomaterials生物材料方法包
生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。
■划痕和磨损测试方法包
划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。
■DataBurst
对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。
■InView的“用户方法开发”选项
InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。KLA独家提供该选项，使用配备该选项的iMicro，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。
■主动减震系统以及一体式机柜
可选高性能主动减震系统，凭借其内置防震装置，为 iMicro 纳米压痕仪提供额外减震。该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。
■True Test I-V测试
iMicro 纳米压痕仪的True Test I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce 50/InForce 1000作动器进行力学测试。
■线性光学编码器（LOE）
iMicro的线性光学编码器选项集成在X和Y移动台中，可以提高测试过程的定位精度和速度。
■压头和校准样品
ZInForce 50、InForce 1000和Gemini作动器使用统一规格的压头。有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。
