S100 半自动划刻器与掰片机

S100 半自动划刻器与掰片机是一款专为精密芯片(如砷化镓和硅芯片)的划片与断裂而设计的设备

S100 半自动划刻器与掰片机

The Scribe 100 是一款专为精密芯片(如砷化镓和硅芯片)的划片与断裂而设计的设备。它具备灵活性,采用划片 – 断裂流程,能确保成品芯片洁净且不受损伤。
在断裂模式下,Scribe 100 会利用橡胶固定芯片,同时升起线性刀具沿核心线进行断裂操作。其薄膜可防止芯片受到污染或应力影响。
所有参数均可通过控制键盘设置,该设备结构坚固、无振动,且操作培训需求极低。

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划片头

• Z 轴运动(角度可调)

• 划片力可调(10g 至 80g):恒定配重,可选配附加砝码

• 金刚石刀具:角度与旋转方向可调

• 刀具偏移量(带十字准线)

 

晶圆工作台

• 晶圆吸盘(最大 4 英寸)

• 芯片尺寸:最小 100μm 见方,最大 10mm×10mm

• 晶圆厚度:≥50μm

• 手动 90° 旋转

• 微米级螺丝旋转对齐

• XY 工作台:分辨率 0.23μm

• 渐进式操纵杆配重运动控制

 

视觉系统

• 光学与放大倍率适配应用场景

• 对齐方式:可编程区域 / 手动

• 22 英寸 TFT 显示器 + 超高清彩色相机

• 电子变焦 ×10

• LED 照明

 

断裂装置

• 断裂模式:手动控制 / 自动

• 断裂方式:顶部橡胶固定 + 底部切割刀

 

参数设置

• 7 英寸触摸屏

• 步进索引与垂直间隔

• Y 轴划片速度:0.1~20 mm / 秒

• 划片长度可编程

• 重复划片功能

• 划片次数设置

• 元件编号记录

• 触底速度

• 切割速度

• 切割计数器

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技术规格

电源:100/230VAC 1 千瓦

气源:70 磅 / 平方英寸(psi)

真空:100% 真空度,流量 = 15 升 / 分钟

外形尺寸:650×820×1500 毫米(25×32×60 英寸)

重量:70 公斤
 

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