Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机

TEM and SEM plasma cleaner

Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机专为研究、开发和小批量生产而量身定制。在表面清洗、活化、有机污染物去除、粘合增强和光刻胶灰化方面表现出色。其精度和多功能性使其成为纳米技术、材料科学、微加工和故障分析应用的理想选择。凭借免维护设计和低拥有成本，提供了长期价值。

Tergeo-EM 等离子体清洁器，

配有两个 Thermo Fisher TEM 样品架

Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机用于 TEM 和 SEM 样品、网格和支架的等离子体清洗和表面活化

世界各地许多著名研究机构的客户购买了我们的 Tergeo-EM 等离子体系统，用于低温 EM、原位 TEM、材料研究和其他类型的高分辨率电子显微镜应用。Tergeo-EM 等离子体清洗系统和 TEM 保持器真空存储系统得到了加州理工学院、加州大学伯克利分校、UIUC、NIH、哈佛大学、EAG 实验室、法国国家科学研究中心（CNRS）、德国马克斯-普朗克研究所、英国利兹大学、中国清华大学、新加坡国立大学、韩国首尔国立大学、我们的许多 Tergeo-EM 客户都是市场上其他传统 TEM/SEM 等离子体清洗器产品的前用户。他们都认为我们的 Tergeo-EM 等离子体系统和真空存储系统更容易使用，并且用途广泛。

Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机可用于去除 TEM 和 SEM 样品上的碳氢化合物污染物。它可以同时容纳两个 TEM 样品架。前端适配器可轻松更换，以支持两种以上不同类型的 TEMS。用户还可以直接将 SEM 和 TEM 样品装入等离子体室。腔室足够大，可以容纳两个 4″晶片或一百多个 TEM 网格，用于冷冻 EM 亲水性处理。Tergeo-EM 已被广泛用于使 TEM 网格亲水，以用于低温 EM 应用。它还可以激活液体细胞原位芯片的表面。双等离子体源设计和脉冲模式操作实现了广泛的应用，包括高速去除 STEM 碳烧伤痕迹，柱孔上的清洁碳沉积，以及超薄多孔碳网格和石墨烯网格的温和表面活化。

应用领域

在成像之前去除 TEM 和 SEM 样品上的碳氢化合物污染。
STEM 成像后去除积碳。
使 TEM 滤线栅具有亲水性以用于低温 EM 应用。温和的下游模式和脉冲等离子体可以处理超薄碳和石墨烯网格，而不会损坏脆弱的网格
去除有机污染物并原位活化 TEM 和 SEM 芯片表面。使液体细胞表面亲水。
支持任何支架上的 ThermoFisher（FEI）、JEOL、Hitachi 和 TESCAN 样本保持器、冷冻电镜自动加载器盒、SEM 螺柱和常规 TEM 网格

产品特点

Tergeo-EM 等离子清洗机是一款在一个系统中集成了直接/浸没模式等离子清洗（样品浸入等离子体中）和远程/下游模式等离子清洗（样品放置在等离子体外部）的 TEM/SEM 等离子清洗机。下游等离子体清洗消除了样品的离子溅射。此外，脉冲模式操作可以产生极其温和的等离子体，以进一步降低精细样品（如超薄多孔碳网格）的等离子体强度。获得的等离子体强度传感器技术实时监测等离子体强度，并为用户提供有关等离子体强度的定量数据。它可以帮助用户为不同类型的样品设置正确的清洁配方。Tergeo-EM 等离子体系统还具有的专有方法，可以在 TEM 网格上存款高密度 OH* 羟基官能团，并使 TEM 网格具有超亲水性，适用于 Cryo-TEM 和液体原位 TEM 应用。请立即联系我们了解更多详情

Tergeo-EM 等离子体清洗机可以满足所有要求，从高速清洗电子光学柱中严重污染的孔径和电极，到温和清洗石墨烯、碳纳米管、DLC（类金刚石碳）、碳纤维或多孔碳网格上的 TEM 样品。Tergeo-EM 等离子清洗机配备了一个无油干式泵，可安全用于氧气服务。Tergeo-EM 等离子体系统支持氩气、氧气、氢气、氮气、环境空气和其他专有工艺气体。两到三个质量流量控制气体输送端口可用于混合多种工艺气体。

细节展示

Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机

TEM 样品架真空泵站

每个单元总共 6 个存储单元
每个存储单元都可以使用电磁阀单独泵送或排气。取出其中一个支架时，剩余的电池仍然可以保持在真空下。
多个存储系统可以链联以共享同一个真空泵。它还可以与 Tergeo-EM 系统共享同一真空泵。
它可以通过无油干式涡旋泵或涡轮泵站进行泵送。
真空泵与储存站分开，易于维护，必要时可对泵进行维修。
所有金属管均在真空下，以最大限度地减少废气，从而减少污染。
稳定的工作温度略高于室温，这有助于样品架更快地脱气。

TEM cube多用途样品清洁及储存腔室

可用于在高真空下存储多达 8 个 TEM 样品架（极限真空在 10 -7 Torr 范围内）。真空度足够高，可以检查原位 TEM 芯片的泄漏。它还可以配备远程 EM-KLEEN 等离子源，以在腔室中进行等离子清洁。腔室的大小为 9 英寸立方。它可以拟合相当大的 TEM 和 SEM 样品和组件。房间有一个玻璃前门用于观察。

标准泵送配置是将腔室直接放置在 Pfeiffer 涡轮分子泵站的顶部。但也可以使用干式涡旋泵对腔室进行泵送。

与我们的常规 TEM 样品架真空储存站相比，TEM cube多用途样品清洁及储存腔室上的每个储存端口都不能单独通风或抽气，因为所有储存端口共享同一个大真空室。取回 TEM 样品架需要更长的时间，因为必须对整个腔室进行通风才能取回一个存放的 TEM 样品架。

如果腔室上安装了 EM-KLEEN 等离子体源，则可以使用 TEM 立方体对 TEM 样品架和样品进行等离子清洗。但 EM-KLEEN 等离子源只能接受一个气体输入。独立的 Tergeo-EM 等离子清洗机最多可使用三种工艺气体。TEM 立方体的排气和抽气时间也比独立的 Tergeo-EM 等离子体系统长。Tergeo-EM 等离子系统还具有全自动作和更高的系统集成水平。