WB200系列引线键合机

法国 JFP Microtechnic®

WB -200 系列是一种多用途半自动焊线工具，适用于研发、原型和小批量焊线。

WB -200 还提供全手动手动 Z 步控制，用于原型制作、样机试制或简单维修，无需机械设置…

它是新一代的 JFP 线材键合机，具有更强的功能、更坚固和更可靠的机械概念。

系统参数

绑定臂长度：165毫米（6.7英寸）

深度访问键头

电动Z向键头（真正的垂直运动，Z行程= 40mm，Z精度=1μm）

电动X和Y向：50x50mm，X和Y精度2μm

鼠标驱动

超声功率：0-2至10瓦（传感器：WBT140：62kHz，长185mm，其他频率请求）

电动上下夹具

自动电动线轴：2”

电子打火关闭（失球系统检测）

触摸屏界面：7”Simatic（存储：50个程序，程序可以在USB记忆棒上保存，无限制）

集成温度控制器

工作模式

SEMI-AUTO双目键合模式

手动Z键合模式

UHD垂直相机键合模式

可选配装置

垂直相机，无视差

视野，精细兼容

数字交叉，方形或圆形图案

	加热台选项 HP-60加热台直径：60mm HP-100加热台尺寸：100 x100 mm HP-150加热台尺寸：150 x 100 mm HP-200加热台尺寸：200 x 150 mm TH-TC热电偶加热台
	样品载台 Tencor P-7拥有各种可用于支持应用需求的载台。标准配置是一个带有定位销的通用真空载台，可以用于50毫米至150毫米样品的精确定位。通用载台支持翘曲度和应力测量，通过3点定位器进行将样品保持在中间位置，以进行精确的翘曲度测量。可提供更多针对太阳能板样品和200毫米通用载台选项。
	防震台 Tencor P-7提供桌面式防震台和独立防震台选项。GraniteIsolator™系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式系统来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列隔离台是一种使用气动式防震台来提供被动防震的独立钢架台。
	台阶高度标准片 Tencor P-7使用VLSI提供的NIST可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片的特征图案是在石英台上制造了一个氧化物台阶，或是覆盖了铬涂层的蚀刻石英台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度。
	Apex分析软件 Apex分析软件通过一套配带平整、过滤、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展组件增强了Tencor P-7的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及当地标准，例如ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex支持11种语言。
	离线分析软件 Tencor P-7离线软件具有与该机台相同的数据分析和程式创建功能。这使用户能够创建程式和分析数据，而不占用机时。

图形识别

图形识别使用预先学习的模式来自动对齐样本。这能够进行全自动测量，通过减少操作员误操作的影响来提高测量稳定性。图形识别与高级校准相结合，可减少样品台定位误差，并实现系统之间程式的无缝传输。

SECS/GEM和HSMS

SECS/GEM和HSMS通信支持工厂自动化系统并实现对Tencor P-7的远程控制。测量结果以及警报和关键校准/配置数据会自动报告给主机SPC系统。Tencor P-7符合SEMI标准E4、E5、E30和E37。

台阶高度 Tencor P-7能够测量从纳米到1000µm的二维(2D)和三维(3D)台阶高度。这能够对蚀刻、溅射、二次离子质谱、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺中沉积或去除的材料厚度进行量化。Tencor P-7具有恒定的力控制，可以不管台阶高度如何，动态调整以在样品表面施加相同的力。这能够保持良好的测量稳定性，能够精确测量软材料，例如光刻胶。
纹理：粗糙度和波纹度 Tencor P-7测量二维(2D)和三维(3D)纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。
形状：翘曲和形状 Tencor P-7可以测量2D形状或表面的翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆翘曲的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。Tencor P-7还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。
应力：二维(2D)和三维(3D)薄膜应力 Tencor P-7能够测量在制造具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量表面的翘曲度。应力的计算是通过诸如薄膜沉积等工艺的形貌变化然后运用Stoney公式来得到的。2D应力是通过对样品直径进行单次扫描来测量的，样品直径可达150mm，无需拼接。3D应力是使用2D扫描的组合来实现的，其中样品台在多次扫描之间旋转以测量整个样品表面。