见证您的创新变为现实。
4200A-SCS 是一款可定制且完全集成的参数分析仪，能同步提供电流 – 电压（I-V）、电容 – 电压（C-V）以及超快速脉冲式 I-V 表征的深度洞察。作为性能顶尖的参数分析仪，4200A-SCS 可加速半导体、材料及工艺的研发进程。
4200A-SCS 搭载的 Clarius™图形用户界面（GUI）软件，具备清晰、无妥协的测量与分析能力。该软件内置专业测量知识与数百项即用型应用测试，助力您快速、自信地深入探索研究。
4200A-SCS 参数分析仪具备完全的可定制性和可升级性，您可根据需求随时（无论现在或将来）添加所需仪器。借助 4200A-SCS 参数分析仪，与重大发现的连接从未如此轻松。
核心性能规格
I-V 源测量单元（SMUs）
- ±210 V/100 mA 或 ±210 V/1 A 模块
- 100 fA 测量分辨率
- 搭配可选前置放大器时，测量分辨率可达 10 aA
- 10 mHz – 10 Hz 超低频电容测量
- 100 µF 负载电容
- 四象限运行
- 支持 2 线或 4 线连接
C-V 多频电容单元（CVUs）
- 交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t）
- 1 kHz – 10 MHz 频率范围
- 内置 ±30 V 直流偏置（差分 60 V），可扩展至 ±210 V（差分 420 V）
- 搭配可选 CVIV 多开关模块，可在 I-V 与 C-V 测量间轻松切换
脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元（PMU）
- 两个独立或同步的高速脉冲 I-V 源与测量通道
- 200 MS/s 采样率，5 ns 采样间隔
- ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA
- 瞬态波形捕获模式
- 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率为 10 ns
高压脉冲发生器单元（PGU）
- 两个高速脉冲电压源通道
- ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA
- 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率为 10 ns
I-V/C-V 多开关模块（CVIV）
- 无需重新布线或抬起探针，即可在 I-V 与 C-V 测量间切换
- 无需重新布线或抬起探针，即可将 C-V 测量切换至任意端子
- 支持 ±210 V 直流偏置
远程前置放大器 / 开关模块（RPM）
- 自动在 I-V、C-V 与超快速脉冲式 I-V 测量间切换
- 将 4225-PMU 的电流灵敏度扩展至数十皮安（pA）
- 降低电缆电容影响
