Model 656 紫外线光强与能量计
Model 656 紫外线光强与能量计由OAI设计与制造。 适用于所有接触式 / 近接式掩模对准器和泛光曝光系统
Model 656 紫外线光强与能量计由OAI设计与制造。 适用于所有接触式 / 近接式掩模对准器和泛光曝光系统
Model 656 紫外线光强与能量计
半个多世纪以来，OAI 在用于半导体、微机电系统（MEMS）、晶圆封装和晶圆凸点制造等行业光刻工艺可靠、精准校准控制的紫外光强与能量测量仪器领域。新型 656 型是一款*的紫外曝光分析仪，专为接触式 / 近接式掩模对准器和泛光曝光系统设计。该仪器可存储多达 400 组曝光读数，配备以太网和 USB 接口用于下载记录的测量数据，光强量程最高可达 2000 毫瓦每平方厘米。探头可选波长包括 220 纳米、248 纳米、260 纳米、310 纳米、325 纳米、365 纳米、380 纳米、400 纳米、420 纳米、436 纳米和 540 纳米。OAI 拥有完备的校准实验室，以保障我们仪器的性能、质量和可靠性。656 型仪器可溯源至美国国家标准与技术研究院（NIST）标准，且符合欧盟 RoHS 2（《关于限制在电子电气设备中使用某些有害成分指令》第二版 ）和 CE（欧洲合格评定）认证要求 。
与接触式 / 接近式对准器配合使用
极其精准且可靠
测量数据易于下载
量程高达 2000 毫瓦每平方厘米
最多可存储 400 组测量数据
符合 ROHS2（《关于限制在电子电气设备中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（欧洲合格评定）标准
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Model 656 紫外线光强与能量计规格说明
仪表规格
用户界面：触摸屏
计算机接口：可选以太网和 USB 接口，用于下载已记录的测量数据
电源：电池供电，采用带充电保护的 3.7V 可充电锂离子电池
充电器电源：110 – 240V 交流电压
显示设置：双屏幕
设置屏幕 – 以太网地址、日期和时间
运行屏幕 – 波长、光强、时间、剂量、探头温度、探头类型、偏差百分比、序列号、校准到期日期、电池状态、探头序列号和充电器状态
存储容量：最多 400 个读数
光强范围：最高 2000mW/cm²
光强分辨率：0.01mW/cm²
剂量范围：最高 1000J/cm²
剂量分辨率：0.01mJ/cm²
时间范围：最长 9999 秒
时间分辨率：0.0001 秒
最小剂量曝光：25 毫秒
尺寸：14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸
重量：3.5 磅
工作环境：15℃ – 40℃
合规性：符合 ROHS2 及 CE（电磁兼容性和安全）标准
探头规格
探头探测器：硅光电二极管
可选波长：220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm 和 540nm
滤光片：多层吸收 / 电介质滤光片
光强范围：最高 2000mW/cm²
互换性：任何 656 型探头均可与任何 656 型仪表配合使用
合规性：符合 ROHS2 及 CE（电磁兼容性和安全）标准
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