研发和使用 MOSFET、IGBT、二极管及其他大功率器件时，需要进行全面的器件级表征，包括击穿电压、通态电流和电容等参数的测量。吉时利（Keithley）的大功率参数曲线跟踪配置系列可支持全类型器件和各类测试参数的表征需求。
吉时利的参数曲线跟踪配置包含表征工程师快速搭建完整测试系统所需的全部必要硬件。需单独订购的 ACS 基础版软件可实现全面的器件表征功能，既包括用于快速检测击穿电压等基本器件参数的实时跟踪模式，也包括用于提取精确器件参数的全参数模式。
ACS 基础版软件超越了传统曲线跟踪仪的界面限制，提供了丰富的示例库。更重要的是，用户能够完全掌控所有测试资源，从而创建出比以往曲线跟踪仪所能实现的更高级的测试。
核心特点
・完整解决方案经专业设计，实现性价比最优
・支持现场升级与重新配置 —— 可将参数曲线跟踪仪（PCT）转换为可靠性测试设备或晶圆分选测试仪
・可配置功率范围：
– 电压：200V 至 3kV
– 电流：1A 至 100A
・宽动态范围：
– 电压：从微伏（µV）到千伏（kV）
– 电流：从飞安（fA）到 100A
・全面的电容 – 电压（C-V）测试能力：
– 电容：从飞法（fF）到微法（µF）
– 支持 2 端子、3 端子和 4 端子器件
– 直流偏置最高达 3kV
・高性能测试夹具，支持多种封装类型
・探针台接口兼容多数探针类型，包括高压三轴（HV triax）、超高压同轴（SHV coax）、标准三轴及其他类型
吉时利的参数曲线跟踪配置是完整的表征工具，包含功率器件表征所需的关键要素。测量通道由吉时利 SourceMeter® 源测量单元（SMU）仪器以及可选的多频电容 – 电压（C-V）仪组成。这些仪器的动态范围和精度远超传统曲线跟踪仪。
完整的系统配件
为实现这一性能，吉时利开发了一整套精密电缆，用于将仪器连接至吉时利 8010 大功率器件测试夹具（用于封装部件测试）或 8020 大功率接口面板（用于晶圆级测试）。对于高压通道，定制的三轴电缆提供了带保护的通路，即便在满 3kV 的情况下，也能实现快速稳定和极低的电流。对于大电流通道，特制的低电感电缆可提供快速上升时间的脉冲，以最大限度减少自热效应。
高压电容 – 电压（C-V）
测试器件电容随直流电压的变化正变得越来越重要。吉时利提供 PCT-CVU 多频电容 – 电压仪。当与可选的 200V 或 3kV 偏置 T 型接头结合使用时，可对二端、三端或四端器件进行电容 – 电压测量。可测量的电容范围为飞法（fF）至 100 纳法（nF），测试频率为 10kHz 至 2MHz。ACS 基础版软件提供 60 多种预设的电容 – 电压测试，包括 MOSFET 的输入电容（Ciss）、输出电容（Coss）、反向传输电容（Crss）、栅漏电容（Cgd）、栅源电容（Cgs）、漏源电容（Cds），以及针对双极结型晶体管（BJT）、二极管等其他器件的全套测试。一如既往，用户可在 ACS 基础版中完全自主开发专属的测试算法。
