RSS-3X210 紧凑型回流焊系统

适用于最多 12 片直径为 100 毫米的晶圆。温度最高可达 300°C。升温速率最高可达 120 开尔文 / 分钟。降温速率为 60 开尔文 / 分钟。真空度可达 10⁻³ 百帕。

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RSS-3X210 是一款出色的工具，适用于多种焊接工艺，可处理直径达 100 毫米的晶圆（一次可处理 12 片）。

应用示例包括：

除标准工艺气体（如氮气、氧气、形成气）外，该系统还可使用纯氢气（选配件：H₂和 H₂S）。腔室为密封设计，易于清洁。

标配一路带质量流量控制器的工艺气路，还可增配一路气路（选配件：质量流量控制器）。

该系统的真空度可达 10⁻³ 百帕。

可达到的最高温度为 300°C。

加热板能实现温度分布与均匀性。

RSS-3X210 配备带有 7 英寸触摸屏的 SIMATIC 控制器。这使得编程可直接在设备上进行，也可通过 USB 接口在电脑上便捷编程。设备可存储 50 个程序，每个程序含 50 个步骤。

加热板采用主动冷却方式。对于腔室外壳的冷却，需要外部冷却系统（我们推荐使用冷水机，配件：WC-II）。