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hpAFM 原子力显微镜

hpAFM 原子力显微镜将性能、功能、设计和能力提升到了一个新的水平。它旨在最大限度地减少获得优良结果的时间。无论您可以在液体还是空气条件下工作，它都适合从材料科学到生命科学的所有人。hpAFM 具有出色的功能，例如免对准设计、闭环弯曲扫描仪、解耦 z 扫描仪、10 MP 视频显微镜和灵活的作模式。

hpAFM 原子力显微镜

 

扫描仪

 

  • XY 扫描范围选项：10μm / 100μm，24 位分辨率

  • Z 扫描范围选项：5μm / 15μm，24 位分辨率

  • 分辨率：0.01nm

  • 采用 XYZ 闭环操作

  • 真空样品架，可容纳最大 8 英寸晶圆

  • Z 扫描仪解耦

  • 最多可承载 500 克样品

 

Z 电动载物台

 

  • 行程 50mm，分辨率 250nm

 

XY 电动载物台

 

  • 行程 76mm，分辨率 50nm

 

原子力显微镜模块

 

  • 射频调制低噪声 635nm 激光器

  • 噪声底最大 25 fm/√Hz

  • 超尖锐悬臂搭配，磁分辨率 < 14nm

  • 视频显微镜：10 倍物镜，数值孔径 0.28，电动对焦；光学分辨率 1μm；电动光学变焦 1 – 5 倍；800 万像素 CMOS 摄像头；软件可调白色光源；侧视摄像头

 

声学与振动隔离

 

  • 声学、热学及振动隔离舱

  • 可选配气氛控制隔离舱

  • XYZ 方向 0.5Hz 隔振台

  • 可在 – 30°C 至 + 350°C 间加热和冷却

 

工作模式

 

  • 接触模式原子力显微镜

  • 动态模式原子力显微镜

  • 横向力显微镜

  • 相位成像

  • 磁力显微镜

  • 力 – 距离曲线及光谱

  • 静电力显微镜

  • 配备 5mHz 分辨率数字锁相环（PLL）的非接触式原子力显微镜

 

扩展功能

 

  • 电流传感原子力显微镜（扩展电阻原子力显微镜）

  • 纳米光刻

  • 粘弹性测量

  • 粘附力成像

  • 导电原子力显微镜

  • 扫描开尔文探针显微镜

  • 力调制显微镜

  • 带电位仪的电化学原子力显微镜

  • 压电响应力显微镜

  • 封闭液槽原子力显微镜

  • 纳米压痕和划痕测试

  • 扫描隧道显微镜

  • 纳米力学成像

  • 脚本

  • 动态横向力

  • 扫描微波显微镜

  • 面内 / 面外磁场（X 方向 ±0.5T，Z 方向 ±0.12T ）

  • 扫描热显微镜

 

技术规格

 

  • 3D 成像

  • 具备图像处理、分析及记录功能

  • 可同时进行数据采集

  • 成像分辨率最高可达 8192×8192 像素

  • 自动确定悬臂频率

  • 多用户许可

  • 免费软件更新

  • 24 位扫描数模转换器

  • 24 位 Z 轴数模转换器分辨率

  • 基于现场可编程门阵列（FPGA）的数字反馈

  • 扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）反馈

  • 24 位 200kHz、16 通道模数转换器

  • ±10V、16 位偏置电压输出

  • 5mHz 分辨率数字锁相环

 

 

 

 

 

 

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