■连续刚度测量(CSM)
连续刚度测量用于量化测定动态材料特性,例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡,以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试,测量硬度和模量随深度或载荷的变化,这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项,包括 ProbeDMA™ 选项以测量存储模量和损耗模量,以及AccuFilm™选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中,使用极为简便,且确保数据质量。

■Gemini2D多轴作动器
Gemini多轴技术,保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能,且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果,有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。横向力和摩擦学测量可以通过双轴作动器实现,其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。

■NanoBlitz 3D
NanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头,获得杨氏模量较高 (>3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s,单次测试可包含多达100,000个压痕点(300×300阵列),获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量(E)、硬度(H)和接触刚度(S)。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。

■NanoBlitz 4D
NanoBlitz 4D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头,获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量 (>3GPa)的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒,单次测试可包含多达10,000个压痕点(100×100阵列),获得每个压痕点的杨氏模量(E)、硬度(H)和接触刚度(S)等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。

■AccuFilm™ 薄膜方法包
AccuFilm™薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法,其采用连续刚度测量(CSM)获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm™能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响,其应用既包括“硬膜软基底”,也包括“软膜硬基底”的情况。

■ProbeDMA™聚合物方法包
聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜,填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。

■Biomaterials生物材料方法包
生物材料方法包基于连续刚度测量(CSM)技术,可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料,填补传统的流变仪在此领域的空白。

■划痕和磨损测试方法包
划痕测试中,在压头上施加恒定或线性变大的载荷,并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系,例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。

■DataBurst
对于配有InView软件和InQuest控制器的系统,DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据,用于测量阶跃载荷响应、位移突进(pop-in)和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统,也可以修改方法以启用DataBurst。

■InView的“用户方法开发”选项
InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台,可用于设计新颖或复杂的实验。KLA独家提供该选项,使用配备该选项的iMicro,经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。

■True Test I-V测试
NanoFlip纳米压痕仪的I-V选项通过InView软件控制,包含精密的电流/电压源表、经过压头和InForce 50/1000作动器的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流,并同时操作InForce作动器进行力学测试。

■压头和校准样品
有多种尖锐的压头可供选择,例如玻式(Berkovich)、立方角(cube corner)和维氏(Vickers)压头,还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。
