Filmetrics® F20 系统是通用膜厚测量仪器，用于全球数千种应用。厚度和折射率可以在不到一秒的时间内测量。提供多种配件和厚度覆盖范围。薄膜测量范围为 1nm 至 3mm。Filmetrics F20 可用于测量样品材料的厚度、反射率、透射率和光学特性。通过 USB 连接只需几分钟即可完成设置，并在一秒钟内获得结果。
产品特点
行业领先的台式薄膜测量系统
每个系统都标配直观的分析软件
光斑尺寸低至 20μm
桌面、XY 映射或在线配置
每个系统都包含 130 多种资料的库
24 小时 （M-F） 电话、电子邮件和训练有素的应用工程师的在线支持
系统包包括压平滤光片（用于高反射基板）、集成光谱仪/光源单元、FILMeasure 软件、反射率标准、厚度标准等！
应用
测量厚度、折射率、反射率和透射率：
单层或多层薄膜堆叠
光滑、半透明或轻吸水的薄膜
独立式膜
气隙液膜
平面或曲面薄膜
行业
半导体
光刻胶、工艺薄膜和电介质
显示
OLED、玻璃厚度、ITO 等 TCO
光学镀膜
硬涂层厚度，抗反射涂层
生物 医学
聚对二甲苯
医疗器械
型号规格
半导体：非晶硅 （a-Si） 和多晶硅厚度测量
使用 Filmetrics F20 测量非晶硅和多晶硅的光学常数（n 和 k）。该工具包括复杂的测量例程，只需单击鼠标即可同时测量和报告基板厚度、硅层厚度以及层间 SiO2 厚度。我们还提供免费试用硅晶圆厚度测量——通常在 1-2 天内获得结果。
半导体：介电特性测量
介电膜的准确测量对于电子行业至关重要。以下是 Filmetrics 测量系统最常见的介电测量：
二氧化硅厚度：SiO2 薄膜厚度可以通过我们的 Filmetrics 系统测量，厚度从 3nm 到 1mm。
氮化硅折射率 （Si3N4）：测量氮化硅折射率以及薄膜厚度可以在几秒钟内完成 Si3N4 薄膜的表征。请联系我们的薄膜专家讨论您的介电应用或要求免费试用。
显示：ITO 膜厚
使用精确的折射率测量来测量氧化铟锡 （ITO） 和其他透明导电氧化物 （TCO） 的薄膜厚度。Filmetrics 工具可以测量液晶层，包括聚酰亚胺层、硬涂层层、液晶层和 OLED 层，包括发射层、注入层、缓冲层和封装层。
生物医学涂层厚度测量
使用我们的 Filmetrics 工具一键测量生物医学应用的涂层厚度，例如导管和血管成形术球囊、支架、导丝、针头和其他植入物。这些设备通常具有生物医学涂层，以保护设备免受腐蚀，而其他设备则可防止组织创伤、感染甚至排斥反应等并发症。测量药物输送涂层的厚度也是一种常见的应用。我们的 Filmetrics 工具可以提供快速可靠的厚度测量，这些测量是无损的，无需样品制备。
显示器：OLED 计量
有机发光二极管 （OLED） 用于许多显示设备，包括手机和电视。构成 OLED 显示器的许多薄膜的计量至关重要，需要非接触式测量系统来有效测量 OLED 厚度。我们的 F20-UV、F40-UV 膜厚测量仪和 F10-RT-UV 反射仪仪器为简单的原型设备和全像素化显示器提供廉价、稳健和非侵入性的计量。由于我们的 OLED 测量仪器具有光谱功能，因此还可以检测这些大气敏感材料中可能发生的化学变化。我们还提供 OLED 薄膜样品厚度测量的免费试用。
半导体：光刻胶厚度测量
Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX 和 Filmetrics F50/F60-t 等几种单点桌面和映射工具可测量单层、多层甚至独立式光刻胶薄膜的光刻胶厚度和蚀刻速率。所有 Filmetrics 型号都通过精确模拟光谱反射率来测量抗蚀剂厚度（和折射率）。特殊的专有算法允许强大的“一键式”分析，通常在不到一秒钟的时间内获得结果。SU-8 厚度、陶氏 BCB 厚度和其他厚光刻胶的测量是 Filmetrics 产品线的热门应用。
多孔硅薄膜测量
多孔硅在广泛的应用中有着重要的用途，包括光学设备、气体传感器和生物医学设备。
感兴趣的多孔薄膜测量包括层厚度和孔隙率。一般来说，测量孔隙率采用重量测量等无损方法，但这种方法的准确率很低。F20、F40 和 F50 仪器等 Filmetrics® 工具提供了一种独特的分析算法，只需单击鼠标即可揭示多孔硅的层厚、折射率和孔隙率。
半导体工艺薄膜测量
Filmetrics® 工具提供全系列仪器和系统，用于测量任何非金属半导体工艺薄膜的厚度和折射率。
广受欢迎的 Filmetrics F20 通用薄膜厚度测量仪是厚度和指数单点测量的最经济的解决方案。
基于 Filmetrics F40 显微镜的膜厚测量仪用于小光斑尺寸厚度测量（低至 1 微米或更小），可连接到您的显微镜上。
Filmetrics F50 膜厚测绘仪将准确测量膜厚并自动逐点映射毯膜。
或者，需要小光斑尺寸和模式识别的产品晶圆会发现 Filmetrics F54-XY 是一个绝佳的选择。
与传统的薄膜计量工具相比，我们的专利厚度成像技术使设置更容易，配方更少，模式识别更稳健，成本也低得多。提供独立版本和集成版本。
硅片和膜厚度测量
Filmetrics® 系统包括用于硅片厚度测量和膜厚度测量的台式、测绘和生产系统。通常测量的晶圆材料包括单抛光或双抛光硅（硅）、蓝宝石、熔融石英、SiC、LiTaO3、GaN 和玻璃。
我们的技术专家可以帮助您找到最适合您的厚度测量要求的 Filmetrics 工具，其中可能包括对各种厚度范围的需求或单点测量与厚度映射要求等。
太阳能光伏测量
数十家薄膜光伏 （TFPV） 制造商使用 Filmetrics® F20 薄膜分析仪来测量所有三种类型的光伏活性层的厚度和光学常数。为了测量 TCO 之上的光伏有源层，Filmetrics 专家在表征内部和玻璃供应商单层或多层 TCO 堆栈方面拥有丰富的经验。
我们还提供台式、映射或在线解决方案，用于测量包括聚酰亚胺、抗反射涂层和光刻胶在内的薄膜。
卷材厚度测量和聚合物膜厚测量
在塑料和聚合物制造中，塑料膜厚和聚合物膜厚对质量至关重要。其中包括总薄膜厚度（最大 1 毫米）、共挤子层厚度和卷材厚度测量。对于 PET 涂层，可以使用我们的 F20-UV 完成膜厚测量。它可以测量非常薄的层（~10nm），甚至可以测量高能等离子体表面处理。我们的标准 F20 可以测量无处不在的涂层，例如厚度范围为 0.05 至 50μm 的硬涂层。
我们拥有广泛的折射率数据库 ，适用于一系列聚合物薄膜，包括 PET、聚碳酸酯、纤维素和聚烯烃，以及更奇特的材料，如导电聚合物。
这些应用中的每一个都带来了一系列独特的挑战，我们拥有软件、硬件和应用知识，可以提供正确的卷材厚度和聚合物膜厚测量解决方案。
我们希望了解您的需求，请填写以下表单并提交
