Gas Mixers 气体混配器
Gas Mixers气体混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子源
Gas Mixers气体混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子源
SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列远程等离子源只能接受一个气体输入。对于某些研究项目，用户可能需要为 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 远程等离子体源混合多种工艺气体。此处列出的三端口气体混配器集成了多达三个质量流量受控气体输入端口、一个排气/旁路泵端口和一个混合气体输出端口。气体输出端口应连接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 远程等离子清洗机上的气体输入端口。如果需要高纯度气体输送，排气/旁通泵出口提供高电导泵送途径，以排空气体管。
触摸屏用户界面
多达 3 个质量流量受控的气体输入端口
用于通风室和高速抽气管的排气/旁路端口。
不同气体种类的流速补偿
集成计时器
110~230V 通用交流电源输入。
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