Zeta™ 缺陷检测和表征的应用

Zeta™光学轮廓仪缺陷标记

失效分析依赖于在样品上识别出一个关注区域（ROI），以便在扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）或原子力显微镜（AFM）下进行后续详细分析。一个方法是使用手持刻刀在观光学显微镜下对样品进行标记。当被标记的特征比较大且与周围的其他特征明显不同时，这种方法是合适的。然而，标记小尺寸的确实是具有挑战性的，较小的物镜工作距离限制了手持刻划工具靠近关键区域的能力。从而导致关键区域在分析工具中难以找到。

KLA Instruments™的Zeta™光学轮廓仪开发了原位刻划功能，解决了这一问题。光学轮廓仪集成了的划线物镜，可以轻松定位和标记ROI，以便进一步分析。划线物镜安装在电动物镜转台，在电动载台的配合下，使得刻划标记可以精确且快速地放置在靠近关注区域的位置。图1中显示了物镜转台上的划线物镜。

图1. 安装在物镜转台上的划线物镜

划线物镜可在各种硬度范围的材料轻松地刻划。可以选择三种不同的金刚石尖端曲率半径（2微米、5微米和10微米）以满足其样本的特定要求。图2展示了铝、玻璃和硅上的刻划功能标记，尽管硬度有所不同，划线物镜在这三种材料上都能清晰地留下标记。由划线物镜施加在样品上的负载是可调的，还能够在硬度范围从比铝软到比硅硬的其他材料上进行标记。几个书写模式预先编程以满足各种客户需求。图3显示了一个图案化的十字，围绕并指向关注区域。十字每条线的末端与ROI位置之间的距离可以进行调整。图4展示了一种错开的模式，这种模式可帮助快速定位ROI所在方向，并找到ROI的位置。