Alpha-Step® D-500探针式轮廓仪

Alpha-Step® D-500

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

台阶高度：纳米级到1200微米

恒力控制：0.03至15mg

视频：5MP高分辨率彩色相机

梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

软件：用户友好的软件界面

小巧的尺寸：系统占用体积小

工业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS:微机电系统

汽车

医疗设备

更多内容：请联系我们并告诉我们您的需求

应用

台阶高度：2D台阶高度

纹理：2D粗糙度和波纹度

形状：2D翘曲形状

应力：2D薄膜应力

■探针选项

Alphastep-d-500提供多种探针用于测量台阶高度、台阶高宽比、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从100纳米到50微米不等，这决定了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损并增加其使用寿命。

■样品载台

Alpha-Step D-500可提供各种可用于支持应用需求的载台。标准载台是一个镀镍铝载台，适用于最大直径长达140毫米的样品。扁平黑色载台可用于透明样品，以最大限度地减少载台表面的反射。提供通用真空载台，包括用于50毫米至125毫米样品的精确定位销。标准载台和通用载台都支持通过3点定位器进行应力测量，将样品保持在中间位置从而进行精确的翘曲度测量。

■防震台

Alphastep-d-500提供桌面式防震台和独立防震台选项。GraniteIsolator™系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式系统来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震的独立钢架台。