RSS-3X210 紧凑型回流焊系统
适用于最多 12 片直径为 100 毫米的晶圆。温度最高可达 300°C。升温速率最高可达 120 开尔文 / 分钟。降温速率为 60 开尔文 / 分钟。真空度可达 10⁻³ 百帕。
适用于最多 12 片直径为 100 毫米的晶圆。温度最高可达 300°C。升温速率最高可达 120 开尔文 / 分钟。降温速率为 60 开尔文 / 分钟。真空度可达 10⁻³ 百帕。
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标配一路带质量流量控制器的工艺气路，还可增配一路气路（选配件：质量流量控制器）。
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