SPIN450x 高质量基底旋涂机

POLOS® Advanced 系列旋转处理机是先进的系统,可提供精确且可重复的过程控制。空气动力学高效的腔体提高了均匀性,而天然聚丙烯工艺腔体确保了无污染且易于清洁的工艺区域。所有设备都具备可编程的顺时针和逆时针旋转以及积液功能。

POLOS® 450 Advanced 是一款台式单基片旋转涂布机,配备 NPP 材质外壳、旋转杯及手动化学品分配装置。其内部直径为 500 毫米,可处理的基片最大尺寸为:圆形基片直径 500 毫米,方形基片 350×350 毫米。

 

Features



・可实现化学品的自动顺序分配或并行分配

・最多配备 6 个喷雾喷嘴,每个喷嘴均可独立编程

 

 

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