SPIN300x 高质量基底旋涂机

您现在可以订购我们改进和创新设计的 POLOS^® SPIN300x 型号。POLOS^® SPIN300x 提供精确、可重复的过程控制。它由天然聚丙烯（NPP）制成，或可选配耐化学腐蚀的 PTFE。这个经过充分验证的模型版本仅提供高级版本。它非常适合处理直径达 300 毫米的各种基板或尺寸为 200 x 200 毫米的方形样品。

独特设计

独特的外壳与排水设计便于在桌面式和内置式机型之间切换。模块化设计使用户能通过多种不同配件升级设备，从而简化分配操作及整体处理流程。

电机回零位置

SPINx 系列能够设定电机回零位置，便于集成到机器人控制 / 自动化环境中。

腔体易操作性

真空卡盘位于腔体边缘上方，便于使用末端执行器、镊子或真空棒取放晶圆 / 基底，这是实现机器人操作的独特要求。

自动盖子

盖子可通过用户界面或脚踏板（非常适合手套箱环境使用）自动打开和关闭。此外，还能在工艺配方的最后一步自动打开盖子。

液体过滤捕集器

SPINx 系列配备液体过滤捕集器，用于保护旋涂机的关键部件，如驱动单元、真空阀、真空传感器和 ServoBL 控制器。它能将通过处理腔室或真空卡盘进入真空管路的所有液体收集起来，所有抗蚀剂或液体都会被安全存放在液体罐 / 瓶中，通过旋涂机外壳上的开口可查看该容器。我们建议所有客户在维护时检查液体罐 / 瓶，如有液体需将其清空。

旋涂机适用工艺：

涂层
清洁
漂洗 / 干燥
显影
蚀刻
PDMI 及其他工艺

SPIN300x 硬件规格：

工艺腔室材质：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE，可选）
最大基底直径：最大 12 英寸（300 毫米）晶圆或 8 英寸 ×8 英寸（200 毫米）基底
液体过滤捕集器
自动盖子（高级版还可通过脚踏板控制）
可编程电机回零位置
用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架
用于用户安全的盖子锁和真空传感器
大尺寸（可拆卸）触摸显示屏
用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新的 USB 端口
驱动单元规格：间接式无刷驱动单元，最高 12,000 转 / 分；高加速度与精度，1-30,000 转 / 分；顺时针 / 逆时针旋转及 puddle 模式；可在桌面式和内置式机型之间切换的独特设计