Zeta™-Solar 光学轮廓仪

全新的Zeta-Solar光学轮廓仪专为满足先进金属化工艺中对于细栅线、接触垫和主栅线的测量需求而设计。更为先进的3D成像技术，以及最大可容纳230mm x 230mm规格太阳能电池片的XY载台，使得Zeta-Solar成为太阳能工艺研发和制程控制的理想专用量测机台。

KLA Instruments™ 推出新款Zeta™-Solar。它是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足独特的太阳能电池金属化需求，针对先进的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计。这款全新的 Zeta 型号利用3D成像技术的进步简化了成像系统。提供多种XY测量台选项，可满足230mm x 230mm最新一代太阳能电池的测量需求。此外还开发了Zeta-Solar软件，将易于使用的Profilm软件与成熟的Zeta金属化测量解决方案无缝结合。更强大的测量分析功能提供了专为光伏行业设计的金属化测量方案和质量评判标准。

特征

太阳能电池金属细栅、主栅的高度、宽度测量，拥有宽度、高度、高宽比和横截面积的统计分析，以及合格品/不合格品识别分析

HDR功能，可优化具有超低反射率绒面的栅线测量效果

自动拼接功能，可用于大视场 (FOV) 区域测量，如主栅和栅线接触点等

采用230mm x 230mm 可编程XY 测量台，适用于最新一代太阳能电池产品

太阳能电池金属栅线的3D真彩色成像

行业领先的产品性能：可重复性和再现性

应用

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS：微机电系统

汽车

医疗设备

	ProfilmOnline网络应用程序 Filmetrics^® ProfilmOnline^® 是Profilm软件包的一部分，是一种基于云端的3D数据可视化和分析平台。无论是在计算机上还是在移动设备上，ProfilmOnline都能让您共享、存储、查看和分析三维数据。安卓和iOS的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。
	物镜四位手动转台可安装放大倍率从5倍到50倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌的测量应用。5倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10倍、20倍和 50倍物镜是Mirau干涉物镜
	防震台 Zeta-Solar提供了Accurion Nano30系列桌面式主动隔振系统，该系统在所有六个自由度下都采用电驱式主动隔振。
	台阶高度标准片 Zeta-Solar包含定制的铬-硅10µm台阶高度标准片，具有镀铬涂层的蚀刻台阶。同时还可选购规格为0.1µm、2µm和4µm的多种台阶高度标准样品片。

台阶高度 Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪对纳米级到毫米级的3D台阶高度进行非接触式测量。垂直扫描干涉测量法能够以纳米级分辨率测量较大的台阶高度。利用相移干涉测量法可以快速测量出亚纳米级特征。Z拼接干涉测量法将多次高分辨率扫描合并到一次测量中，能够快速测量较大的台阶。这一系列的技术使用户能够量化由半导体工艺（如蚀刻、溅射、沉积、旋涂等）去除或沉积的材料量。
纹理：粗糙度和波纹度 Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪能够3D纹理进行非接触式测量，量化样品的粗糙度与波纹度。相移模式对于测量非常光滑的表面来说是一个不二之选。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根粗糙度等参数。
形状：翘曲度和外形 Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪可以测量表面的3D形状或翘曲度。此功能可用于测量透镜的曲率半径或医疗植入物（如髋关节或支架）的外形。
TotalFocus^® Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪具有TotalFocus功能，可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。